Игорь Житяев, Александр Светличный - Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии

Рейтинг: 5 / 5

Звезда активнаЗвезда активнаЗвезда активнаЗвезда активнаЗвезда активна
 

Игорь Житяев, Александр Светличный - Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».

СКАЧАТЬ ОТРЫВОК В ФОРМАТАХ: FB2 FB3 ePUB PDF PDF (моб. вер.) TXT RTF
КУПИТЬ КНИГУ ЧИТАТЬ ОНЛАЙН ДРУГИЕ КНИГИ АВТОРА


С этой книгой читают:


Оставьте Ваши комментарии

0
правилами и условиями.
  • Нет комментариев