Учебная литература Игорь Житяев, Александр Светличный - Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологииРейтинг: 5 / 5
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
СКАЧАТЬ ОТРЫВОК В ФОРМАТАХ:
FB2 FB3
ePUB
PDF
PDF (моб. вер.)
TXT
RTF
КУПИТЬ КНИГУ ЧИТАТЬ ОНЛАЙН ДРУГИЕ КНИГИ АВТОРА
Оставьте Ваши комментарии